NEG吸(xi)氣(qi)劑泵是一種真(zhen)空技術中常(chang)用的非蒸(zheng)發型吸(xi)氣(qi)設備。它通過特殊的吸(xi)附劑材料(liao)，有(you)效(xiao)地降(jiang)低(di)真(zhen)空系(xi)統的氣(qi)體(ti)壓力。這(zhe)種泵通常(chang)用于(yu)維持高真(zhen)空或(huo)超高真(zhen)空環境，適用于(yu)實驗(yan)室設備、粒子加速器(qi)、半導(dao)體(ti)制造等領域。

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CombiNEG 40-400

以下是 NEG 吸氣劑泵的(de)一些關鍵特點(dian)和工(gong)作(zuo)原理：

Getter效應(ying)： NEG吸氣劑泵的(de)核心是(shi)吸附(fu)劑，它的(de)表面具有(you)強烈(lie)的(de)getter效應(ying)。Getter效應(ying)是(shi)指吸附(fu)劑表面對氣體分子有(you)高度親(qin)和力(li)，使(shi)得氣體能(neng)夠被吸附(fu)在表面上。

吸(xi)附(fu)劑(ji)材(cai)料： NEG吸(xi)氣劑(ji)泵的吸(xi)附(fu)劑(ji)通常采用一(yi)種(zhong)(zhong)或多種(zhong)(zhong)金(jin)(jin)屬合金(jin)(jin)，如鈦(tai)合金(jin)(jin)（Ti-Zr-V）或鋯(gao)合金(jin)(jin)。這些材(cai)料在表(biao)面上形成一(yi)層特殊的薄膜(mo)，具有很強(qiang)的吸(xi)附(fu)性能。

非(fei)蒸發性： 與一些傳(chuan)統的(de)真空泵不(bu)同，NEG 吸(xi)氣(qi)劑(ji)泵是非(fei)蒸發型(xing)的(de)。這意味著(zhu)吸(xi)附(fu)劑(ji)表(biao)面上的(de)氣(qi)體(ti)不(bu)會再(zai)次蒸發成為氣(qi)體(ti)，而是固定(ding)在吸(xi)附(fu)劑(ji)表(biao)面上。

工作溫(wen)度(du)： NEG吸氣劑泵通常(chang)在(zai)室溫(wen)至(zhi)幾(ji)百攝氏度(du)的范圍內工作。在(zai)一些應(ying)用中，可能需(xu)要對(dui)吸附劑進(jin)行加熱以激活getter效(xiao)應(ying)，但并非所有系統都需(xu)要。

適用氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)： NEG吸氣(qi)(qi)(qi)(qi)劑泵對(dui)多種氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)都(dou)具有較好的(de)吸附效果，包(bao)括氫(qing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)、氦(hai)氣(qi)(qi)(qi)(qi)、氮(dan)氣(qi)(qi)(qi)(qi)、氧氣(qi)(qi)(qi)(qi)、水蒸氣(qi)(qi)(qi)(qi)等。這使(shi)得它在不同(tong)應用場景中都(dou)能夠(gou)有效地(di)降低氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)壓力。

真空(kong)環境(jing)(jing)： NEG吸(xi)氣劑泵通(tong)常用于高真空(kong)和超高真空(kong)的環境(jing)(jing)，可維持系統在(zai)非常低(di)的氣體壓力下(xia)運行。

應(ying)用(yong)領(ling)域(yu)： NEG 吸氣劑泵廣泛應(ying)用(yong)于實驗室(shi)設(she)備、粒子(zi)加速器、半導體制造(zao)等(deng)領(ling)域(yu)，其中需(xu)要維持高度(du)純凈的真空環境。

壽命： NEG吸(xi)氣劑泵(beng)通常具有較長的壽命，能夠長時間(jian)穩定地工(gong)作，這取決于使用環境和(he)操作條件。

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