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發(fa)布時間:2023-04-27 15:31:57 人(ren)氣:2469
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真空電極(ji)(Feedthrough)法蘭連接通(tong)常包括以下步驟:
準(zhun)備工作:準(zhun)備好法(fa)蘭(lan)、密封(feng)墊、螺栓、螺母等零(ling)件,清(qing)潔電極和(he)法(fa)蘭(lan)上的雜物和(he)污垢,確保(bao)表(biao)面光(guang)潔無劃(hua)痕。
安裝密(mi)封(feng)墊(dian):在電極上放置一個合(he)適大(da)小的密(mi)封(feng)墊(dian),確保其完全(quan)覆蓋法蘭(lan)連接(jie)面。一般采用(yong)O形(xing)圈或者金屬層疊(die)墊(dian)。
安裝法蘭(lan):將(jiang)法蘭(lan)輕輕放(fang)置在電極上,并(bing)將(jiang)螺(luo)栓穿過法蘭(lan)孔洞(dong),螺(luo)母輕輕擰上。
調(diao)整法(fa)蘭(lan)位置(zhi):調(diao)整法(fa)蘭(lan)的位置(zhi),使(shi)其與電極(ji)上的法(fa)蘭(lan)孔洞(dong)對齊。
逐(zhu)步擰(ning)緊螺(luo)栓:從一(yi)個螺(luo)栓開始,逐(zhu)步擰(ning)緊螺(luo)栓和(he)(he)(he)螺(luo)母,直到所有螺(luo)栓都(dou)已(yi)緊固。在擰(ning)緊螺(luo)栓和(he)(he)(he)螺(luo)母時,需(xu)要根據法蘭材料和(he)(he)(he)密封墊的硬度(du)適當調整擰(ning)緊力(li)度(du),以確保法蘭與電極(ji)之間的密封性能。
泄(xie)(xie)漏測(ce)試(shi):在(zai)安裝完(wan)成后,需要(yao)進行泄(xie)(xie)漏測(ce)試(shi)來驗(yan)證法蘭與(yu)電極(ji)之間的密(mi)封(feng)性能(neng)。通常采用質譜儀或氦檢(jian)漏儀來檢(jian)測(ce)泄(xie)(xie)漏。如果發現泄(xie)(xie)漏,需要(yao)重新(xin)檢(jian)查(cha)并(bing)調整(zheng)法蘭連接。
需要注意(yi)的是,法蘭(lan)連接的質量和密封性(xing)能對整個真空系統的性(xing)能和可靠(kao)性(xing)都有重要影響。因(yin)此,在安(an)裝和使用真空電極時,需要嚴格遵守(shou)操作規程和要求,并進行定期的維(wei)護和檢查。
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