一、組(zu)合版Sub-D真空饋(kui)通：功率和標準插針組(zu)合

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組合(he)版(ban)Sub-D真空饋(kui)通(tong)是(shi)把功(gong)率、同軸和標(biao)準插(cha)(cha)針融入到標(biao)準的(de)Sub-D真空饋(kui)通(tong)中(zhong)。其中(zhong)功(gong)率插(cha)(cha)針，常用(yong)于加熱器的(de)供電應用(yong)。兼容CF法(fa)蘭(lan)、KF法(fa)蘭(lan)、ISO法(fa)蘭(lan)和完全(quan)定(ding)制(zhi)型法(fa)蘭(lan)。

圖(tu)一：功(gong)率和標(biao)準插(cha)針組合(he)真(zhen)空饋通的技術(shu)指標(biao)

功率和標(biao)準(zhun)插針組(zu)合真空(kong)饋(kui)通，一(yi)共分(fen)為三類（圖二、圖三、圖四）：

      2P+5S

      3P

      5P

以及(ji)組合(he)按倍數疊加（圖五）。其(qi)中(zhong)P指(zhi)功(gong)率(lv)型插針(zhen)，S為標準插針(zhen)。

圖二：2P+5S（即2針(zhen)(zhen)功率插(cha)針(zhen)(zhen)+5針(zhen)(zhen)標準插(cha)針(zhen)(zhen)）示(shi)(shi)例（圖示(shi)(shi)CF35法蘭(lan)）

圖三(san)：3P（即3針(zhen)(zhen)功率插針(zhen)(zhen)）示例(li)（圖示CF35法蘭）

圖(tu)四：5P（即(ji)5針(zhen)功率插針(zhen)）示例(li)（圖(tu)示CF63法蘭）

圖五：3個2P+5S的并聯示(shi)(shi)例（圖示(shi)(shi)CF63法(fa)蘭）

二、組(zu)合版Sub-D真空饋通：同軸和(he)標(biao)準插針組(zu)合

圖六：同軸和標準插針組(zu)合真(zhen)空饋通(tong)的(de)技(ji)術指標

同軸和標準(zhun)插針(zhen)組合真空饋通，一(yi)共(gong)分為三類（圖七）：

    2C+3S

    3C

    5C

其中C指同軸型插(cha)(cha)針(zhen)，S為標準(zhun)插(cha)(cha)針(zhen)。

圖(tu)七：（左(zuo)）5C（5針(zhen)(zhen)同(tong)(tong)軸插(cha)(cha)針(zhen)(zhen)，CF63法(fa)蘭）；（右上）2C+3S（2針(zhen)(zhen)同(tong)(tong)軸插(cha)(cha)針(zhen)(zhen)+3針(zhen)(zhen)標準插(cha)(cha)針(zhen)(zhen)，CF35法(fa)蘭）；（右下）3C（3針(zhen)(zhen)同(tong)(tong)軸插(cha)(cha)針(zhen)(zhen)，CF35法(fa)蘭）

三(san)、組(zu)合(he)版Sub-D真空(kong)饋通真空(kong)內外接(jie)頭和插針

組(zu)合(he)版Sub-D真空(kong)饋(kui)通(tong)（功率型(xing)，同軸(zhou)型(xing)）采用(yong)同樣的高(gao)真空(kong)和超高(gao)真空(kong)接頭，一共分為三種：

- 2 * Coax or Power pins + 5 * 1mm pins

- 3 * Coax or Power pins

- 5 * Coax or Power pins

圖八：真(zhen)空(kong)端母頭和配套(tao)插針

圖九：真空端(duan)公頭和配套插針

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