JJ X-Ray 超高真空狹(xia)(xia)縫 WHITE BEAM SLITS – UP TO 4000W為(wei)同步加速器和(he)FEL提供WHITE BEAM狹(xia)(xia)縫。驅動機構是一(yi)種堅(jian)固且(qie)高度引(yin)導的設計(ji)，可以(yi)(yi)(yi)同時容納(na)同步加速器和(he)FEL刀片。WHITE BEAM狹(xia)(xia)縫有完(wan)全重(zhong)疊的葉片，可以(yi)(yi)(yi)單獨移動。腔室及其(qi)(qi)支(zhi)撐(cheng)被(bei)制(zhi)成使得離子泵(beng)可以(yi)(yi)(yi)直接安裝在狹(xia)(xia)縫上。此外，還有用(yong)于儀表、直角閥、RGA 以(yi)(yi)(yi)及其(qi)(qi)他可能(neng)需要(yao)的端口(kou)。

臂運動的測量(liang)分辨率(lv) < 200 nm，開(kai)環(huan)可(ke)重復性 < 2 μm，開(kai)環(huan)精度 < 3 μm。

當(dang)強(qiang)制(zhi)要求電子漏電流讀數(shu)時，同步加(jia)速器WHITE BEAM刀(dao)(dao)片可(ke)吸(xi)收高達1500W的(de)功率。如(ru)果可(ke)以(yi)忽略(lve)漏極電流能(neng)力(li)，則刀(dao)(dao)片可(ke)以(yi)吸(xi)收4000W。WHITE BEAM刀(dao)(dao)片通常由 Cu合金制(zhi)成，用于(yu)吸(xi)熱(re)，以(yi)及用于(yu)光束(shu)定義的(de)重元素。光束(shu)定義實體可(ke)以(yi)是我們的(de)任何狹縫刀(dao)(dao)片，包括納米拋光棒、刀(dao)(dao)刃、單(dan)晶和多層。

FEL WHITE BEAM刀片可(ke)吸(xi)收高達(da)800W的功率(lv)。光束定(ding)義實體是多(duo)層結構，上游有輕元(yuan)素，通常是金(jin)剛石或(huo)石墨，隨著光束向下(xia)游移動通過結構，元(yuan)素逐漸(jian)變重(zhong)。

WHITE BEAM SLITS側視圖

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