如何判斷(duan)真空(kong)閘閥氣密性(xing)是否符合要(yao)求？

閘閥在(zai)真(zhen)空(kong)系統中(zhong)的應(ying)用(yong)，首先(xian)要保證氣(qi)密(mi)(mi)性(xing)(xing)達到要求。通常真(zhen)空(kong)閘閥漏氣(qi)越(yue)少，氣(qi)密(mi)(mi)性(xing)(xing)越(yue)好。

如何判斷(duan)真(zhen)(zhen)空(kong)閘閥(fa)的(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)密性好壞呢？主要看(kan)其(qi)漏(lou)(lou)(lou)氣(qi)(qi)(qi)(qi)速(su)率，所(suo)謂漏(lou)(lou)(lou)氣(qi)(qi)(qi)(qi)速(su)率是指在單位時(shi)間(jian)內，所(suo)有(you)通過(guo)不同(tong)渠道漏(lou)(lou)(lou)入(ru)真(zhen)(zhen)空(kong)閥(fa)的(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體量，當(dang)真(zhen)(zhen)空(kong)閥(fa)門的(de)(de)漏(lou)(lou)(lou)量小(xiao)于規定的(de)(de)允(yun)許(xu)漏(lou)(lou)(lou)量時(shi)，氣(qi)(qi)(qi)(qi)密性達(da)到要求。真(zhen)(zhen)空(kong)閘閥(fa)并不能保證完全不漏(lou)(lou)(lou)氣(qi)(qi)(qi)(qi)，一(yi)般都有(you)可允(yun)許(xu)的(de)(de)漏(lou)(lou)(lou)氣(qi)(qi)(qi)(qi)率范(fan)圍，在選擇閘閥(fa)前，需要考慮所(suo)應用(yong)環境、型(xing)號(hao)等是否符合要求。

高真空閘閥

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