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發(fa)布時間:2023-03-16 17:38:47 人氣:1711
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真(zhen)空閘(zha)閥是一種用(yong)于控制真(zhen)空(kong)(kong)系(xi)統中氣(qi)體流通的閥(fa)門,它可以通過開關控制氣(qi)體流通,通常(chang)用(yong)于真(zhen)空(kong)(kong)干法腔體、真(zhen)空(kong)(kong)制備系(xi)統和半導體加工(gong)設備等領域。
真空(kong)閘(zha)(zha)(zha)閥(fa)的操(cao)作(zuo)壓(ya)力通常是(shi)指其開啟或關閉所需的zui小(xiao)壓(ya)力差(cha),也稱為(wei)操(cao)作(zuo)差(cha)壓(ya)。這個(ge)值通常取決于閘(zha)(zha)(zha)閥(fa)的結構(gou)、密封材料和操(cao)作(zuo)方式等因(yin)素,不(bu)同型號的閘(zha)(zha)(zha)閥(fa)具有不(bu)同的操(cao)作(zuo)壓(ya)力范圍。
一般(ban)來說,真空閘閥(fa)的操作壓(ya)力(li)通常(chang)在幾(ji)(ji)十帕(pa)到數(shu)百帕(pa)之間(jian)。對于需(xu)要在高真空條件下操作的閘閥(fa),其(qi)操作壓(ya)力(li)則通常(chang)在幾(ji)(ji)百帕(pa)到數(shu)千帕(pa)之間(jian)。此外,真空閘閥(fa)的操作壓(ya)力(li)還(huan)受到環境溫度(du)、氣體種類和流量等因素(su)的影響。
在選擇(ze)真空閘(zha)閥時,需要考(kao)慮其操(cao)作(zuo)(zuo)壓(ya)力是否滿足實際需求。如果(guo)操(cao)作(zuo)(zuo)壓(ya)力過高(gao)或(huo)過低,都會影響(xiang)閘(zha)閥的正常使用(yong)。因此,需要根據實際情況選擇(ze)合(he)適的型號和規(gui)格的閘(zha)閥。
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