Agilent安捷倫 離子泵(beng)是(shi)真(zhen)(zhen)空系(xi)(xi)統中常用的一種(zhong)高(gao)真(zhen)(zhen)空泵(beng)，用于將(jiang)氣體(ti)(ti)抽取出(chu)真(zhen)(zhen)空室。為了避(bi)免(mian)真(zhen)(zhen)空系(xi)(xi)統中的氣體(ti)(ti)回流，離子泵(beng)采用了一些設(she)計和操作上的措施(shi)，包括：

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中型離(li)子(zi)泵 VacIon Plus 55

電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)束阻擋器： 離(li)子(zi)(zi)(zi)(zi)泵通常配備了(le)電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)束阻擋器，位于離(li)子(zi)(zi)(zi)(zi)源和(he)真空(kong)室之間。電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)束阻擋器用于阻止電(dian)(dian)子(zi)(zi)(zi)(zi)束進(jin)入(ru)離(li)子(zi)(zi)(zi)(zi)源，并避(bi)免激發氣體分子(zi)(zi)(zi)(zi)，從而減少氣體回流。這(zhe)有助于提高泵的效率和(he)真空(kong)度。

磁(ci)場屏蔽： 一些離(li)(li)子泵具(ju)有磁(ci)場屏蔽結(jie)構，用于(yu)阻擋離(li)(li)子束和(he)電子束從離(li)(li)子源流向真空(kong)(kong)室。這有助于(yu)減少氣體回流，特別是在真空(kong)(kong)系統中離(li)(li)子泵關閉時。

冷(leng)陷結構(gou)： 有些離子泵在(zai)離子源周(zhou)圍采用冷(leng)陷結構(gou)，通過將表面冷(leng)卻到很低的溫度，使得氣(qi)體分子在(zai)接觸表面時凝結并(bing)被捕獲(huo)。這有助于(yu)防(fang)止氣(qi)體回流，并(bing)提高真空(kong)度。

動態(tai)操作： 在真空(kong)系(xi)統操作中，離子(zi)泵通常會與其他類型的(de)泵（如(ru)分子(zi)泵、根據分子(zi)泵等(deng)）組(zu)合使用，以實現不同壓力范圍的(de)抽(chou)取。通過合理選擇和操作其他泵，可以大(da)(da)大(da)(da)地減少(shao)氣體回(hui)流的(de)風(feng)險。

實時監測： 離子泵系統通(tong)常配備真空度和(he)(he)氣體(ti)(ti)(ti)組分的實時監測裝置。通(tong)過監測真空度和(he)(he)氣體(ti)(ti)(ti)成分的變化，可以及時發現并處(chu)理任何氣體(ti)(ti)(ti)回流的情況(kuang)。

以上就是北京(jing)麥迪(di)森科(ke)技有限公司提供的Agilent安捷倫 離子泵如何避免真空系統中氣體回流的介紹。