Agilent安捷(jie)倫 渦(wo)輪分(fen)(fen)子(zi)泵是(shi)一種高(gao)真(zhen)空(kong)泵，其工作原理(li)基(ji)于渦(wo)輪和(he)分(fen)(fen)子(zi)兩個(ge)主要部分(fen)(fen)。以下(xia)是(shi)安捷(jie)倫渦(wo)輪分(fen)(fen)子(zi)泵的(de)基(ji)本工作原理(li)：

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 渦(wo)輪(lun)分子泵 TwisTorr 804 FS

渦(wo)輪(lun)部分(fen)(fen)： 渦(wo)輪(lun)是泵內的旋(xuan)轉部分(fen)(fen)，通常由多個葉片組成(cheng)。這(zhe)些葉片通過電(dian)機驅動(dong)，以(yi)(yi)高速旋(xuan)轉。渦(wo)輪(lun)的轉速通常可(ke)以(yi)(yi)達到幾萬轉每分(fen)(fen)鐘(zhong)（rpm），這(zhe)樣(yang)可(ke)以(yi)(yi)在泵內產生高速氣體流。

分(fen)(fen)子(zi)部分(fen)(fen)： 渦(wo)輪(lun)旋轉時(shi)，它與氣體(ti)分(fen)(fen)子(zi)發生(sheng)碰(peng)撞(zhuang)。由于渦(wo)輪(lun)葉片非常(chang)輕，因此氣體(ti)分(fen)(fen)子(zi)的(de)動能(neng)在碰(peng)撞(zhuang)時(shi)可以傳遞給渦(wo)輪(lun)。這種轉動能(neng)的(de)傳遞使得氣體(ti)分(fen)(fen)子(zi)在泵內(nei)產(chan)生(sheng)向排(pai)氣口方向的(de)運動。

氣體(ti)抽除： 渦輪分(fen)(fen)子(zi)泵(beng)(beng)通過運動(dong)的(de)渦輪葉(xie)(xie)片將氣體(ti)分(fen)(fen)子(zi)從泵(beng)(beng)的(de)入口端吸(xi)入，并推(tui)動(dong)它們朝著(zhu)出口端運動(dong)。在(zai)(zai)氣體(ti)分(fen)(fen)子(zi)在(zai)(zai)渦輪葉(xie)(xie)片之(zhi)間移動(dong)時，會經(jing)歷多次碰(peng)撞和傳遞動(dong)能(neng)的(de)過程。由于葉(xie)(xie)片的(de)高(gao)速旋轉，氣體(ti)分(fen)(fen)子(zi)在(zai)(zai)泵(beng)(beng)內逐漸被加(jia)速并排除。

真空產(chan)生(sheng)： 當(dang)氣(qi)體(ti)分子(zi)被逐(zhu)漸抽出(chu)并排除時，泵內(nei)產(chan)生(sheng)了(le)高真空。渦輪分子(zi)泵通常與其(qi)他真空泵（例如根據分子(zi)泵、離(li)心泵等(deng)）一起(qi)使用，以實現更高的真空水平。

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