問：真空傳輸閥可允(yun)許漏(lou)率(lv)是多少？

答：與(yu)之(zhi)前介紹的(de)閘閥可(ke)允許漏率不同(tong)，真空傳輸閥的(de)可(ke)允許漏率分別為 Stain Less : < 1×10-9 mbar ?/sec 與(yu) Aluminum : < 1×10-5 mbar ?/sec。

真空傳輸(shu)閥

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