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所謂真空漏率是指相對負壓封閉空間進入氣體的速率。真空(kong)閘閥在出廠前需要對漏率進行檢測，查看漏氣率是否符合要求。

通常漏氣可分(fen)為(wei)實漏和虛(xu)漏。

實漏：氣體通過系統上的(de)漏孔或間隙從高壓側流到(dao)低壓側的(de)現象。

虛漏(lou)：相對實漏(lou)而言的(de)(de)一種(zhong)物(wu)理現象(xiang)。這種(zhong)現象(xiang)是由(you)于材料放(fang)氣(qi)、解吸、凝結氣(qi)體的(de)(de)再蒸(zheng)發、氣(qi)體通(tong)(tong)過器壁(bi)的(de)(de)滲透(tou)及系統內死空間中(zhong)氣(qi)體的(de)(de)流出等原因(yin)引(yin)起真空系統中(zhong)氣(qi)體壓力升高的(de)(de)現象(xiang)。氣(qi)密性是表征真空系統器壁(bi)防止氣(qi)體滲透(tou)的(de)(de)性能，它包括通(tong)(tong)過漏(lou)孔(或間隙)的(de)(de)漏(lou)氣(qi)和材質的(de)(de)滲氣(qi)。

而真(zhen)空(kong)技術中所(suo)指的漏(lou)(lou)孔，由于尺(chi)寸微小、形狀復(fu)雜、形式多(duo)樣，無法用幾(ji)何尺(chi)寸表示其大(da)小。所(suo)以一般用等效流(liu)導或漏(lou)(lou)氣速率(lv)(簡稱為漏(lou)(lou)率(lv))表示漏(lou)(lou)孔的大(da)小。

特殊真空閘閥

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